国家知识产权局信息显示ღღ◈，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种半导体工艺设备”的专利pp电子游戏ღღ◈，公开号CN121398202Aღღ◈，申请日期为2025年9月ღღ◈。

　　专利摘要显示ღღ◈，本申请提供了一种半导体工艺设备ღღ◈，包括ღღ◈：工艺管ღღ◈；多个进气管ღღ◈，用于向工艺空间导入工艺气体ღღ◈；第一匀流板ღღ◈，设置在工艺空间中ღღ◈，并将工艺空间分割为多个进气管所在的进气空间和容纳所述晶片的容置空间ღღ◈，第一匀流板支撑多个进气管合乐888总代ღღ◈，且多个进气管导入的工艺气体在第一匀流板的导流下能从进气空间均匀的进入到容置空间pp电子游戏ღღ◈。此结构中pp电子游戏ღღ◈，在工艺管内设置了第一匀流板ღღ◈，工艺气体通过进气管进入到工艺空间中以后ღღ◈，在第一匀流板的导向下均匀的进入到电池片所在的容置空间中ღღ◈，能使晶片所在的容置空间中的气场均匀性得到显著提升pp电子游戏ღღ◈，并且还使第一匀流板对进气管进行支撑ღღ◈，无需再专门设置支撑部件ღღ◈，简化了半导体工艺设备的结构ღღ◈，降低了进气管的变形可能合乐888总代ღღ◈。

　　天眼查资料显示ღღ◈，北京北方华创微电子装备有限公司pp电子游戏ღღ◈，成立于2001年合乐888总代合乐888总代ღღ◈，位于北京市合乐888总代ღღ◈，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业ღღ◈。企业注册资本114153.708311万人民币ღღ◈。通过天眼查大数据分析合乐888总代ღღ◈，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业ღღ◈，参与招投标项目1363次ღღ◈，财产线条ღღ◈，此外企业还拥有行政许可340个ღღ◈。pp电子(中国)·官方网站ღღ◈！pp电子ღღ◈。AI应用ღღ◈。PP电子·(中国)官方网站